超纯水水质指标常用的是电阻率，总有机碳，颗粒，热源         超纯水水质指标分为一级超纯水水质指标和二级超纯水水质指标  分别为电阻率（25℃）MΩ。cm≥15  ≥10  2。电导率μS/cm0.05  0.1     3.   ph值6.8-7.2   6.6-7.4    4.细菌 总数个/mL  ＜3 ＜9  5.微粒（直径＞0.5μm,粒/mL)＜150  ＜300  6.  二氧化硅＜10   ＜20   7.有机物（以COD计）＜0.3 ＜0.5  8.钠 N＜0.5 ＜2